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產(chǎn)品介紹

Libra UV是鑫圖針對(duì)半導(dǎo)體高速高分辨率檢測(cè)推出的紫外全局快門CMOS相機(jī)。在半導(dǎo)體行業(yè)中，Libra UV已成功應(yīng)用在無(wú)圖形晶圓檢測(cè)、有圖形晶圓檢測(cè)、掩膜板對(duì)準(zhǔn)以及晶圓鍵合等多個(gè)工藝制造和瑕疵檢測(cè)環(huán)節(jié)中。除此之外,基于其寬光譜和優(yōu)異的紫外響應(yīng)能力，它在生物光譜分析儀器整合、醫(yī)療和電子產(chǎn)品檢測(cè)領(lǐng)域也有非常廣闊的應(yīng)用前景。

寬光譜/紫外增強(qiáng)

Libra UV采用Sony背照式CMOS技術(shù)，不僅具有寬光譜（200 nm~1000 nm)優(yōu)勢(shì)，且在200-400 nm紫外波段還具有優(yōu)異的響應(yīng)能力，365 nm波段量子效率高達(dá)48%。
全局快門高速成像

Libra UV采用全局快門技術(shù)，可以清晰地捕捉快速運(yùn)動(dòng)中的樣品；同時(shí)配備10G GigE高速接口，在810萬(wàn)全分辨率速度最高可達(dá)100 fps@12 bit 和 152 fps @ 8 bit，具有非常顯著的高速效能優(yōu)勢(shì)。
緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

Libra UV針對(duì)檢測(cè)設(shè)備和儀器系統(tǒng)整合的特點(diǎn)，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量成像性能和小尺寸緊湊型空間需求的平衡。

技術(shù)參數(shù) >

型號(hào): Libra UV
傳感器類型: CMOS
傳感器型號(hào): IMX487
光譜范圍: 可見光 / 紫外可感應(yīng)
黑白/彩色: 黑白
峰值量子效率: 56%@500 nm，48%@365 nm
對(duì)角線尺寸: 11 mm (2/3'')
有效面積: 7.8 mm x 7.8 mm
分辨率: 2856 (H) x 2848 (V)
像素尺寸: 2.74 μm x 2.74 μm
增益: 支持模擬增益（1~15.7）, 數(shù)字增益（15.8~126）
幀率: 152 fps @ 8 bit, 100 fps @ 10 bit, 100 fps @ 12 bit
滿阱容量: 10 bit：9000 e- @ gain 1, 580 e- @ gain 15.7； 12 bit：9250 e- @ gain 1, 555 e- @ gain 15.7
讀出噪聲: 10 bit：3.9 e- (RMS) @ gain 1, 2.1 e- (RMS) @ gain 15.7 12 bit：2.4 e- (RMS) @ gain 1, 1.5 e- (RMS) @ gain 15.7
動(dòng)態(tài)范圍: 10 bit：65 dB @ gain 1, 49.1 dB @ gain 15.7； 12 bit：72 dB @ gain 1, 52 dB @ gain 15.7
快門類型: 全局快門
曝光時(shí)間: 8 bit：2 μs ~ 10 s; 10, 12 bit：3 μs ~ 10 s
暗信號(hào)不均一性: 0.38
光響應(yīng)不均勻性: 0.52%
圖像校正: DPC
ROI: 支持
Binning: Bin 1 x 2 (Avg and Sum), Bin 2 x 1 (Avg and Sum), Bin 2 x 2 (Sum)
時(shí)間戳精度: 1 μs
觸發(fā)模式: 硬件, 軟件
觸發(fā)輸出: 高電平, 低電平, 觸發(fā)準(zhǔn)備, 讀出, 曝光
觸發(fā)接口: Hirose-12-pin
數(shù)據(jù)接口: 10G GigE
位深: 8 bit, 10 bit, 12 bit
光學(xué)接口: C-Mount
電源: 12 V / 2 A, 支持POE
功耗: ≤ 12 W
相機(jī)尺寸: 45 mm x 45 mm x 74.3 mm
軟件: SamplePro
SDK: C / C++ / C# / Python
操作系統(tǒng): Windows / OpenEuler
操作環(huán)境: 工作環(huán)境：溫度-10 ~ 40 °C, 濕度 0 ~ 85 %；儲(chǔ)存環(huán)境：溫度-20 ~ 60 °C, 濕度 0 ~ 85 %