Dhyana 9KTDI Pro
高速TDI-sCMOS相機
- 600 kHz @ 9K
- 256 級TDI
- 180 nm ~ 1100 nm
- 風冷／水冷
- CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
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產品介紹
Dhyana 9KTDI Pro（簡稱：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相機基于先進的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術，采用可靠穩定的制冷封裝技術，覆蓋從180 nm 紫外到1100 nm 近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導體晶圓缺陷檢測、半導體材料缺陷檢測、基因測序等應用提供更高效率、更穩定的檢測支持。
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180nm-1100nm 寬光譜
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技術，已驗證的響應波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區域。256級 TDI技術可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設備檢測精度。
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600 kHz @ 9K 超高速線掃
Dhyana 9KTDI Pro 配備CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其傳輸效率相當于背照式 CCD-TDI 相機的54倍，顯著提升設備的檢測效率。Dhyana 9KTDI Pro的相機行頻最高可達 9K @ 600 kHz，為行業提供快速的多級TDI線掃描解決方案。
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穩定可靠制冷降噪技術
高端挑戰性檢測應用中，對缺陷的檢測要求非常高，即使是1~2DN的灰階抖動都會影響檢測結果。鑫圖的制冷技術經過市場的長期驗證，不僅能夠對感光芯片實行精準的低溫控制，還能使相機在長時間工作中保持±0.5℃恒定狀態。如圖所示，鑫圖相機制冷后具有更均一的成像背景和更低的噪聲水平，可以為高精度缺陷檢測提供更精準可靠的數據支撐。
技術參數 >
- 型號: Dhyana 9KTDI Pro
- 傳感器類型: BSI sCMOS TDI
- 傳感器型號: Gpixel GLT5009BSI
- 量子效率: 82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
- 彩色 / 黑白: 黑白
- 對角線尺寸: 45.4 mm
- 有效面積: 45.36 mm x 1.28 mm
- 分辨率: 9072 ( H ) x 256 ( V )
- 像素尺寸: 5 μm x 5 μm
- 操作模式: TDI, Area
- TDI 級數: 4，8，12，32，64，96，128，160，192，224，240，248，252，256
- 掃描方向: 正向，反向，觸發控制
- 電荷轉移效率: ≥ 0.99993
- 位深: 12 bit, 10 bit, 8 bit
- 滿阱容量: 典型值：15.5 ke- @ 12 bit，14 ke- @ 10 bit
- 動態范圍: 典型值：68.7 dB @ 12 bit，63.6 dB @ 10 bit
- 最大線速: 300 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit
- 讀出噪聲: 7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
- 暗信號不均勻性: 典型值：1.5 e- @ 12 bit，3.5 e- @ 10 bit
- 光響應不均勻性: 典型值：0.3 %
- 制冷方式: 風冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
- 制冷溫度: 低于環境溫度 25 ℃
- Binning: 2 x 1 (SENSOR BIN)，2 x 2，4 x 4，8 x 8 (FPGA BIN)
- ROI: 支持
- 觸發模式: 觸發輸入, 掃描方向輸入
- 觸發輸出信號: Strobe out
- 觸發接口: Hirose, HR10A-7R-4S
- 時間戳精度: 8 ns
- 增益: 模擬增益：x2 ~ x8, 步進 0.5，數字增益：x0.5 ~ x10, 步進 1
- 數據接口: CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
- 光學接口: M72 / 用戶定制
- 電源: 12 V / 8 A
- 功耗: < 75 W
- 相機尺寸: 100 mm x 100 mm x 145 mm
- 重量: 1800 g
- 軟件: SamplePro
- SDK: C++（支持GenlCam標準）
- 操作系統: Windows，Linux
- 操作環境: 工作: 溫度 0~40 °C，濕度 0~85% 儲存: 溫度 0~60 °C，濕度 0~90%
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應用方向 >
下載 >
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Dhyana 9KTDI Pro 技術規格書
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Dhyana 9KTDI Pro 結構圖紙
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驅動 - KAYA
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驅動 - eGrabber
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驅動 - Tucsen Driver
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Dhyana 9KTDI Pro 產品手冊
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軟件 - SamplePro（9KTDI & 9KTDI Pro）
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